摘 要：研究了煮沸脫氣測定高純矽微粉真密度的方法. 試驗确定了适宜測定條件; 采用該法測定樣品真密度結果爲2.644g·cm-3, RSD=0.13%, 方法簡便快速, 測定結果令人滿意.
關鍵詞：矽微粉; 比重瓶; 真密度
高純矽微粉是一(yī)種新型高科技材料, 因絕緣性高、耐高溫、低密度、分(fēn)散性好等特點, 廣泛用作集成電(diàn)路封裝材料, 高分(fēn)子複合材料, 電(diàn)力、化工(gōng)填料等. 真密度是幹燥試樣質量與其真體(tǐ)積之比, 真體(tǐ)積是扣除封閉氣孔
後的體(tǐ)積. 真密度是粉體(tǐ)材料基本物(wù)理參數, 因所有宏觀物(wù)理性質都與密度有關, 也是測定微粉顆粒分(fēn)布等其他物(wù)理性質必須用到的參數. 真密度數值大(dà)小(xiǎo)決定于材料化學組成及純度, 其值直接影響材料質量、性能及用途, 對其測定有重要意義, 是保證高純矽微粉産品質量的重要物(wù)理指标之一(yī). 測定真密度關鍵是真體(tǐ)積的測定,而測真體(tǐ)積重要的是将孔隙間的氣泡排盡. 目前國内對粉體(tǐ)材料真密度的測定研究很少[1]-[3], 關于高純矽微粉真密度的測定研究還未見報道. 其他粉體(tǐ)材料真密度的測定方法有國标比重瓶法、真密度測定儀法, 雖然準确,但前者要求真空脫氣且恒溫的煩瑣、嚴格操作, 費(fèi)時; 後者需儀器, 成本高. 本文試驗建立了采用煮沸脫氣比重瓶法測定高純矽微粉真密度的分(fēn)析方法, 測定樣品時隻須煮沸30min, 不需煩瑣真空脫氣及恒溫操作, 僅做精密溫度校正, 也可得準确結果; 而且操作更快速、簡便, 設備也簡單, 能更好滿足工(gōng)廠例行分(fēn)析需要.
